無塵室 防止微(wēi)粒子(zǐ)污染的(×®de)四項基本原則

無塵室內(nèi)的(de)浮遊微(wēi)粒ε≠子(zǐ)濃度，使用(yòng)高(gāo)性能(néngε☆☆≥)的(de)過濾器(qì)即可(kě)容易達到(dào)零水(shuǐ ​≈<)平，實際的(de)生(shēng)産現✘&§÷(xiàn)場(chǎng)由于作(zuò)業(yè)←↕↕者、機(jī)器(qì)、周邊機(jī)械的(de)發塵及基闆運送時(shí)所接 δ觸的(de)零件(jiàn)材料的(de)發塵等，在制(zhì)造品'≈ ∞周邊揚起了(le)少(shǎo)許的(de)微(∏€∏Ωwēi)粒子(zǐ)，因而造成了(le)元件(jiàn)清潔面的(de)粒子(zǐ)污染。

無塵室內(nèi)該如(rú)何防止微(wēi)粒子(zǐ¶∑)污染呢(ne)？應遵守下(xià)列四項基本原則：

 一(yī)、不(bù)攜入

 在無塵室內(nèi)不(bù)攜入微(w §★ēi)粒子(zǐ)的(de)方法有(yǒu)：

 1）作(zuò)業(yè)員(yuán)¥©  進入無塵室前，機(jī)台、零件(jiàn)攜入前應進行(x≠←♠™íng)清潔處理(lǐ)；

 2）進入無塵室者在更衣室要(yào)穿著(✔✘$zhe)不(bù)發塵、不(bù)産生(shēng)靜(jìng)電(diàn←€')的(de)具特殊導電(diàn)性纖維材質的(de)無塵服™σ≠、帽、鞋、手套、口罩等。

 3）通(tōng)過風(fēng)淋室時(π¶shí)利用(yòng)高(gāo)速幹淨空(kō↕π✔¥ng)氣除去(qù)附在衣服表面的(de)粒子✔₽(zǐ)後，才能(néng)進入無塵室。

 4）機(jī)器(qì)及材料帶進無塵室前π∏，應盡可(kě)能(néng)在密封狀态下(xià)∑★≠帶進無塵室前室保養後用(yòng)超純水(shuǐ)擦拭，經☆λ♦∑風(fēng)淋室吹淋後才進入無塵室。

 5）無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有(y♦ $§ǒu)filter的(de)排氣用(yòng)小(xiǎo)型fan于腰間(jiān)。&nbs¥λ'p; 

 二、不(bù)發生(shēng)

 在控制(zhì)最大(dà)污染源--人(rén)在無塵室β★內(nèi)的(de)微(wēi)粒子(zǐ)發塵量的(d≠$e)同時(shí)，也(yě)應控制(zhì)第二大(∏βdà)污染源—制(zhì)造機(jī)台的(de)發塵量。因物σ≠(wù)品在移動時(shí)，所産生(sπ$ δhēng)的(de)摩擦及接觸剝離(lí)會(huì)造成發塵 ±§'，而物(wù)品在移動時(shí)也(yě)會(huì±$)有(yǒu)微(wēi)粒子(zǐ)的(de)發生(shēng)。故為♠<♦<(wèi)了(le)控制(zhì)發塵量達到(dào)最小(xiǎo'π§←)限度應采取以下(xià)對(duì)策：

1）減少(shǎo)接觸剝離(lí)發塵的(de)動作(zuò)形󧩀态；

2）采用(yòng)磨耗發塵小(xiǎo)的(de)βλ♣φ材質；

3）采用(yòng)發塵小(xiǎo)的(de)潤滑油；

4）機(jī)台應用(yòng)空(kōng)壓浮上(shàng)的(de)非接觸化(huà'&φ)工(gōng)作(zuò)原理(lǐ)。

三、不(bù)儲備

 若能(néng)徹底實施“不(bù)攜入”技(jìλ≈&)術(shù)，無塵室內(nèi)的(de)潔淨度就(jiù)可 ×→ε(kě)以維持。但(dàn)現(xiàn)實中人(rén)和(hé)≈€♠§物(wù)品的(de)頻(pín)繁出入及制(zhì)造機(jī)台的(de)掣動，在廣大(d"φ à)的(de)無塵室內(nèi)要(yào)有(§€yǒu)完全潔淨度是(shì)不(bù)可(kě)能(néng)的(de)↔β™δ。因此“不(bù)儲備”技(jì)術(shù)快≈×(kuài)速地(dì)在過濾器(qì)中應用(yòng)以除去(qù)已發生(shēng)的(d£≈‍e)微(wēi)粒子(zǐ)變得(de)非常重要(₹☆yào)。通(tōng)常已發生(shēng)的(de)微(w÷♠®ēi)粒子(zǐ)會(huì)依據重力及靜(jìng)電(€ diàn)吸附力而停留在周邊的(de)物(wù)體(¥↔σ★tǐ)表面。突發性的(de)振動及不(bù)穩定的(de)氣流會(huì≠<€×)使這(zhè)些(xiē)累積微(wēi)粒在空(kōng)氣中再度揚起，增加了(le)重大(d∏≥∑&à)微(wēi)粒子(zǐ)污染的(de)危險性。

 在最高(gāo)等級的(de)無塵室中從(có♦★ε₽ng)天花(huā)闆到(dào)地(dì)面，完全 ε<除去(qù)微(wēi)粒子(zǐ)的(de)空(kōng)氣須♥‌ ↓在0.3-0.4m/s的(de)速度作(zuò)垂直向↕×♠下(xià)流動。這(zhè)是(shì)在約10秒(miǎo)內(nè¶"÷₹i)将室內(nèi)空(kōng)氣和(hé)完全過濾空(kōng)氣完全交換所計₩≥$≤(jì)算(suàn)出來(lái)的(de)數(shù)值。同時(shí)，空(kōng)氣的( πde)流向也(yě)必須要(yào)有(yǒu)精确的(de)控制(zhì←≤)才行(xíng)。特别要(yào)保證氣流的(de)流通(÷←₩≠tōng)路(lù)徑暢通(tōng)無阻，因為(wèi)在流通(tōng)路(☆‍★lù)徑中有(yǒu)障礙物(wù)的(de)話(huà)₩₽，容易産生(shēng)空(kōng)氣空(kōng)氣渦α♠σ↓流而形成空(kōng)氣的(de)滞留區(qū)域，使得(≠®₽de)附近(jìn)已發生(shēng)的(de)微(wēi)粒子(zǐ)無法快(kuài)速排除♦φ而長(cháng)時(shí)間(jiān)漂流在無塵室內(nèi)，而一(yī'☆←)部分(fēn)會(huì)附著(zhe)在周邊機(jī)器(qì)設備的(∑↔de)表面而引起污染。

控制(zhì)氣流可(kě)防止微(wēi)粒子(zǐ)累積，但(dàn)對(♣®duì)于帶電(diàn)表面的(de)微(wēi)粒累積就(jiù)無法防‍∏φ♠止。

無塵室內(nèi)的(de)浮遊微(wēi)粒子(zǐ)濃度，使用(yòng)高(gāo)λΩ性能(néng)的(de)過濾器(qì)即可(kě)容易達到(dào)零水(shuǐ)平，實際的(de)生(shēng)産現(xiàn)場♥≠→(chǎng)由于作(zuò)業(yè)者、機(jī)器(qì)、周邊機(jī→≈)械的(de)發塵及基闆運送時(shí)所接觸的(deλπ)零件(jiàn)材料的(de)發塵等，在制>♠(zhì)造品周邊揚起了(le)少(shǎo)£​✔許的(de)微(wēi)粒子(zǐ)，因而造成₽ 了(le)元件(jiàn)清潔面的(de)λ©‌"粒子(zǐ)污染。

無塵室內(nèi)該如(rú)何防止微('↕wēi)粒子(zǐ)污染呢(ne)？應遵守下(xià)列四項基本原則：±✔

一(yī)、不(bù)攜入

在無塵室內(nèi)不(bù)攜入微(wēi♣λ<Ω)粒子(zǐ)的(de)方法有(yǒu)：

1）作(zuò)業(yè)員(yuán)進入無塵室前，機(jī)台、零件(jiàn)攜↓‍↔入前應進行(xíng)清潔處理(lǐ)；

2）進入無塵室者在更衣室要(yào)穿著(zφ"₩he)不(bù)發塵、不(bù)産生(shēng)靜(jìng)電(diàσ₽n)的(de)具特殊導電(diàn)性纖維材質的(de)無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。

3）通(tōng)過風(fēng)淋室時(shí)利δφ用(yòng)高(gāo)速幹淨空(kōng)₽"§氣除去(qù)附在衣服表面的(de)粒子(zǐ)後，才能(néng)ε₩•↑進入無塵室。

4）機(jī)器(qì)及材料帶進無塵室前，應盡可♥β↑λ(kě)能(néng)在密封狀态下(xià)帶進無塵室前室保養後用(yòng)超純水(shuǐ§αΩ÷)擦拭，經風(fēng)淋室吹淋後才進入無塵室。

5）無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有(yǒu)filter的(de)排氣用(yò↔αεng)小(xiǎo)型fan于腰間(jiān)。  

二、不(bù)發生(shēng)

在控制(zhì)最大(dà)污染源--人(rén)在無λ÷塵室內(nèi)的(de)微(wēi)粒子(zǐ)發塵量的(de)同時(shí)，也(yě)應控™•≥制(zhì)第二大(dà)污染源—制(zhì)造機(jī)台↓₽ ₹的(de)發塵量。因物(wù)品在移動時(shí)，所産生(shē↕$÷‌ng)的(de)摩擦及接觸剝離(lí)會₩≤♣₹(huì)造成發塵，而物(wù)品在移動時(shí)也(y©'→≠ě)會(huì)有(yǒu)微(wēi)粒子 ©≤ε(zǐ)的(de)發生(shēng)。故為γ π(wèi)了(le)控制(zhì)發塵量達到(dào)最小(xiǎo)限度應采取以下>≠(xià)對(duì)策：

1）減少(shǎo)接觸剝離(lí)發塵的&÷ ​(de)動作(zuò)形态；

2）采用(yòng)磨耗發塵小(xiǎo)的(de)材質♠♦ ；

3）采用(yòng)發塵小(xiǎo)的(de)潤滑​£•油；

4）機(jī)台應用(yòng)空(kōng)壓浮上(£¥shàng)的(de)非接觸化(huà)工(gōng)作(zuò)原理(lǐ)。

三、不(bù)儲備

若能(néng)徹底實施“不(bù)攜入”技(jì)術(shù)，無塵室內(nèi)的φ★↓(de)潔淨度就(jiù)可(kě)以維持。但(dàn)現★φφ‍(xiàn)實中人(rén)和(hé)物( πwù)品的(de)頻(pín)繁出入及制(zhì)造機(jī)台的(de)掣動，↕∑εφ在廣大(dà)的(de)無塵室內(nèi)要(yào)有(yǒu)完全潔淨度是(shì)δ≥₹不(bù)可(kě)能(néng)的(d ‌γ÷e)。因此“不(bù)儲備”技(jì)術(s₽αhù)快(kuài)速地(dì)在過濾器(qì)中應用(yòngγ↑')以除去(qù)已發生(shēng)的(de)微(wēi₩¶  )粒子(zǐ)變得(de)非常重要(yào)。通(tōng)常已發生(shēng)的(de)微(←​↔wēi)粒子(zǐ)會(huì)依據重力及靜(jìng)電(diàn)吸附力而停留在周±♦邊的(de)物(wù)體(tǐ)表面。突發£‍性的(de)振動及不(bù)穩定的(de)氣流會(huìα∞)使這(zhè)些(xiē)累積微(wēi)粒♦♣σ©在空(kōng)氣中再度揚起，增加了(le)重大(dà♣☆α)微(wēi)粒子(zǐ)污染的(de)危險性。

在最高(gāo)等級的(de)無塵室中從(cóng)天花(huā)闆到(dào)地(dì←€)面，完全除去(qù)微(wēi)粒子(zǐ)的(§←de)空(kōng)氣須在0.3-0.4↕☆m/s的(de)速度作(zuò)垂直向下(xià)流動。這(zhè)是(shì)在約1↓€<0秒(miǎo)內(nèi)将室內(nèi)空(kōng)氣和(hΩ∏₽é)完全過濾空(kōng)氣完全交換所計(jì)算(su  ®àn)出來(lái)的(de)數(shù)值。同時(shí)，空(δβΩkōng)氣的(de)流向也(yě)必須要(yào)有(yǒu)精§♠≠<确的(de)控制(zhì)才行(xíng)。特'®别要(yào)保證氣流的(de)流通(tōng)路(lù)徑暢通(tō™"ng)無阻，因為(wèi)在流通(tōng)路(l×☆≠ù)徑中有(yǒu)障礙物(wù)的(de)話(huà)，容易産生(sφ♣±hēng)空(kōng)氣空(kōng)氣渦流而形成空(kōng)氣的(de)滞留區(q™☆ū)域，使得(de)附近(jìn)已發生(shēng)的(de)微(wēi)粒子(zǐ)無法快(k​​¥σuài)速排除而長(cháng)時(shí)間(jiān)漂流在無塵​αΩ&室內(nèi)，而一(yī)部分(fēn)會(huì)附著(ε≠zhe)在周邊機(jī)器(qì)設備的(de)表面而引起污染。

控制(zhì)氣流可(kě)防止微(wēi)粒子(z§"ǐ)累積，但(dàn)對(duì)于帶電(diàn)表面的(de)微(wēi)粒累₽‍ $積就(jiù)無法防止。