無塵室工(gōng)程的(de)标準

世界各國(guó)均有(yǒu)自(zì)定規格，但(dàn)普遍依據美(mě↓•↑ i)國(guó)頒布的(de)标準【Federal Standard (FS)€♥ α 209E, 1992】，可(kě)将無塵室分(fēn)為(wèi)↕'六級。分(fēn)别是(shì)1級、10級、•≠100級、1000級、10000級、100•α000級，如(rú)果無塵室的(de)等級隻用(yòng)塵粒數(shù)目來(₩σ÷"lái)叙述，則可(kě)假設塵粒的(de)尺寸為(wèi)₽¶0.5μm，例如(rú)，1級、10級、100級無塵室最大(dà)塵粒數(shù)目分(fēn‍±)别小(xiǎo)于或等于1顆、10顆、100顆，如(rúσε✔)果塵粒尺寸不(bù)是(shì)0.5μm，無塵室等級應以在一(yī)特定塵粒尺寸∞©的(de)級數(shù)來(lái)表示。例如(rú):10級在✘€γ0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大(dà)下(xià)，密度不(bù)大(dà)于75顆/立方δ¥→英尺)，1級在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大(dà)下(xià)，密度不(bù)大(dàλλΩ)于35顆/立方英尺)