淨化(huà)工(gōng)程要(yào)控制(zhì)溫©§≤♦濕度具體(tǐ)措施有(yǒu)哪些(xiē)？
淨化(huà)工(gōng)程潔淨室的(de)溫濕度主要(yào)是(shì)根據您的(de)加工(gōn ×g)工(gōng)藝要(yào)求來(lái)确定，在滿₩≠♥§足加工(gōng)工(gōng)藝的(de)條件(jiàn)下(xià≈")，首選應該考慮人(rén)的(de)舒适感。随著(zhe)空(kōng)氣 ₽ 潔淨度要(yào)求的(de)提，工(gō δng)藝對(duì)溫濕度的(de)要(yào)求也(yě)越來(lái)δ→δ越高(gāo)，達到(dào)定的(de)溫濕度等。例如(rú)在大(d♥à)規模集成電(diàn)路(lù)生(shēng)産的(de¥σ")光(guāng)刻曝光(guāng)工(gōn≠φg)藝中，作(zuò)為(wèi)掩膜闆材料的(de)玻璃與矽片的(de)熱(rè)膨脹系數(sh→ ≈πù)的(de)差要(yào)求越來(lái♠σ↓∑)越小(xiǎo)。直徑100um的(de₩↑♦)矽片，溫度上(shàng)升1度，就(jiù)引起了(le)0.24↑♠um線性膨脹，所以有(yǒu)±0.1度的(de)恒溫，同時(shí)要(yào)求濕度值般較低✘(dī)，因為(wèi)人(rén)出汗以後π¥>φ，對(duì)産品将有(yǒu)污染，特别是(shì)怕鈉的(de)半導體(tǐ)車(chē)間÷ π(jiān)，這(zhè)種車(chē)間(jiān)不(bù)宜超過25度。
濕度過高(gāo)産生(σαshēng)的(de)問(wèn)題更多(duō)。相(xiàng)對(duì§←)濕度超過55%時(shí)，冷(lěng)卻水(shuǐ)管壁上(shàng)會(huì♥₽₽)結露，如(rú)果發生(shēng)在精密裝置或>φ電(diàn)路(lù)中，就(jiù)會(huì)引起各種事(shì)故。相(xiàng)對λ£(duì)濕度在50%時(shí)易生(shēng)鏽。淨化(huà)工(gōng)程要(yào)控制(zhì)溫濕度具體(tǐ)有∑★(yǒu)什(shén)麽措施？
然而對(duì)于大(dà)部分(fēn)潔淨空(k∏™ōng)間(jiān)，為(wèi)了(le)防止外(wài)界污染侵入，ε₽☆需要(yào)保持內(nèi)部的(de)壓力（靜(jìn<↓"αg)壓）高(gāo)于外(wài)部的(de)壓力（靜(jìng)壓）。壓力差的(☆✔εde)維持般應符合以下(xià)原則：
1.潔淨度别高(gāo)的(de)空(kōng)間(j <←iān)的(de)壓力要(yào)高(gāo)于相(xiàng)鄰的(de)潔淨度别低(dīβ÷'•)的(de)空(kōng)間(jiān)的(deσλφσ)壓力。
2.相(xiàng)通(tōng)↑★←¶潔淨室之間(jiān)的(de)門(mén)要(yào)開(kāi)向潔淨度别高(gāoγ£)的(de)房(fáng)間(jiān)。
3.潔淨空(kōng)間(jiān)的(de)壓 λ力要(yào)高(gāo)于非潔淨空(kōng)間(ji★∏ān)的(de)壓力。
壓力差的(de)維持依靠新風(fēng)量，這(zhè)個(gèα÷ )新風(fēng)量要(yào)能(néng)補償在這(zhè)壓力差下(xiàγ ★✘)從(cóng)縫隙漏洩掉的(de)風(fēng)量。所以壓力差的(de)÷♣物(wù)理(lǐ)意義就(jiù)是(shì)漏洩（或♥"✘滲透）風(fēng)量通(tōng)過潔淨室的(de)各種縫隙時(shí)的¥→(de)阻力。
對(duì)于亂流潔™≤ε☆淨室由于主要(yào)靠空(kōng)氣的(de)稀釋≤¥♠×作(zuò)用(yòng)來(lái)減輕室內(nèi)污染的✘♥>(de)程度，所以主要(yào)用(yòng)換氣次數(shù)這(zhè)概念，而不(×∑bù)直接用(yòng)速度的(de)概念，不(bù)≈>Ω過對(duì)室內(nèi)氣流速度也(yě)有(yǒu) ¥如(rú)下(xià)要(yào)求；
1.送風(fēng)口出口氣流速度不(bù)宜太大(dà)，和∞♠←α(hé)單純空(kōng)調房(fáng)間(j€≈♠←iān)相(xiàng)比，要(yào)求速度衰減更快(ku←←₹ài)，擴散角度更大(dà)。
2.吹過水(shuǐ)平面的(de)氣流速度（Ω¥例如(rú)側送時(shí)回流速度）不(bù)宜太大(dà)，以免吹起表面微(wēi)粒重返氣流↔→<，而造成再污染，這(zhè)速度般不(bù)宜大(dà)幹0.2m/s。
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